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| 材料：
| 高純度光學等級單晶體Kyropoulos Al2O3
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| 方向：
| C軸[0001] ± 0.1°
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| 直徑：
| 76.20 ± 0.05 mm
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| 厚度：
| 330或430或480 ± 25 um
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| TTV：
| < 10 um
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| 曲度：
| < 10 um
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| 前平面：
| Epi抛光
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| 後端：
或：
| 細質
光學抛光
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| 平面：
| < 10 um
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| 表面粗糙度（Ra）：
| < 0.2 nm
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| 方向平面：
| 22 mm
± 0.5 mm
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| 主要平面位置：
| A軸[11-20] ± 0.3°
M軸[10-10] ± 0.3°
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| 次要平面：
| 相對於主要平面反時鐘方向90°
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| 包裝：
| 單晶圓包裝或25片晶圓EMPAK Ultrapack盒裝
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