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モノクリスタルではサファイア(Al2O3)の単結晶引上からエピレディー基板までハイテク装置を使った一貫生産技術を確立しています。
原料に高純度酸化アルミを使い光学グレード(Al2O3
99.997%)の結晶引上を
行っており、生産分野は
・ 結晶引上
・ 切断
・ 研削
・ ダイアモンド研摩
・ ＣＰＭ
・ ＳＯＳエピ成長
・ YAG,Nd:YAG結晶引上及び加工
工場生産面積は約15,000㎡でその内500㎡はクリーンルームです。
モノクリスタルの生産体制
| 品目
| 能力/月
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| 5”,6”,8”,10”サファイア単結晶ブール
| 3000kg
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| 窒化用アズカット/研削基板
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| 直径2”
| 40,000枚
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| 直径3”
| 20,000枚
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| 直径4”
| 5,000枚
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| 窒化用エピレディー基板
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| 直径2”
| 20,000枚
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| 直径3”
| 5,000枚
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| 直径4”
| 1,000枚
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| SOSウエファー用エピ研摩基板
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| 直径2”
| 10,000枚
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| 直径3”
| 5,000枚
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| 直径4”
| 2,000枚
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