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| 素材
| 高純度光学グレードキロプロス単結晶Al2O3
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| 方位
| C-軸[0001] ± 0.1°
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| 直径
| 76.20 ± 0.05 mm
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| 厚さ
| 330 or 430 ± 30 μm or 25 μm
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| TTV:
| < 10 μm
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| Bow:
| < 10 μm
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| 表面
| エピ研摩
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| 裏面
| 精密研削
光学研摩
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| 平坦度
| < 7 μm
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| 表面粗さ(Ra)
| < 0.2 nm
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| オリフラ
| 22 mm ± 0.8 mm
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| 第一オルフラ位置
| A-軸[11-20] ±0.3°
M-軸[10-10] ±0.3°
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| 第二オリフラ
| 第一オリフラ方向へ90° 逆時計回り
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| 梱包
| 1枚ずつあるいは25枚をＥＭＰＡＫカセット
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