재료:

고 순도 광학 등급 단결정체 Al₂O₃

오리엔테이션

C-축 [0001] ± 0.1°

직경:

76.20 ± 0.05 mm

두께:

330 또는430 ± 30 μm 또는25 μm

TTV:

< 10 μm

Bow:

< 10 μm

앞 표면:

에피-광택된

후부:
또는:

세밀한 Ground
광학적으로 광택된

평평도:

< 7 μm

표면거칠기 (Ra):

< 0.2 nm

오리엔테이션 평면

22 mm ± 0.8 mm

1차 평면 위치:
또는:

A-축 [11-20] ± 0.3°
M-축 [10-10] ± 0.3°

2차 평면:

1차로 90° 역 시계 방향

패키지:

하나의 박편 팩(pack) 또는 25 박편(薄片) EMPAK 고성능 카세트

메모: 다른 박편 허용 한계와 레이저 표식이 이용 가능합니다.