|
| Уникальная технология химико-механической полировки |
|
|
Во втором полугодии 2004г. специалистами ОАО ЗСК «Монокристалл» была усовершенствована технология химико-механической полировки, позволяющая производить высококачественные сапфировые подложки для изготовления высокоярких светодиодов на основе GaN.
Целью исследования, проводимого в 2005 г. ОАО ЗСК «Монокристалл» и НТЦ микроэлектроники Физико-Технического Института им. А.Ф. Иоффе (г. С-Петербург), являлось изучение влияния параметров сапфировых подложек на результаты эпитаксиальных процессов и кристаллическое совершенство слоев GaN, тестирование полированных пластин, изготовленных по новой технологии в процессе производства мощных светодиодов.
В ходе исследования зарегистрировано улучшение качества слоев GaN на новом продукте ОАО ЗСК «Монокристалл», что эффективно влияет на яркость электролюминесценции гетероструктур, показатели которой до 20% выше, чем на подложках, обработанных по стандартной технологии.
По заключению ученых НТЦ микроэлектроники ФТИ им. А.Ф. Иоффе, сапфировые подложки, производимые ОАО ЗСК «Монокристалл» имеют высокие конкурентные преимущества и выгодно отличаются от аналогичных продуктов других производителей.
|
|
