Благодаря низкой диэлектрической проницаемости и кристаллографическим свойствам сапфир представляет собой великолепный материал для изготовления различных пластин электронного применения.

Предприятие «Монокристалл» предлагает 2", 3", 4" и 6"-вые ЭПИ-полированные пластины, а также резанные/шлифованные заготовки, как стандартные так и по Вашим конкретным спецификациям (разориентированные, с полировкой нерабочей поверхности, различной толщины). Пластины и заготовки пластин изготавливаются из буль, выращенных методом Киропулоса.

Преимущества наших пластин:

• высокая чистота материала: > 99,997%;
• низкое содержание примесей Ti: < 1 ppm;
• низкая плотность дислокаций: < 10 ² см^-2;
• допуск по ориентации: до ± 0,05 градуса.

Сапфировые пластины для полупроводниковых изделий предлагаются с различной ориентацией, включая плоскости M, А, R, C. Возможно производство пластин различной формы (круглой, прямоугольной или квадратной), от нескольких мм до 152 мм в диаметре, с обработкой в соответствии со спецификацией заказчика. Базовые срезы (по стандарту SEMI) на круглых пластинах делаются для определения ориентации; по требованию заказчика делаются дополнительные срезы. Толщина пластин варьируется от 0,15 мм до 1,0 мм в зависимости области применения.

Оборудование позволяет контролировать производство пластин с момента выращивания кристалла до изготовления конечной продукции.